发布时间: 2019-09-03 07:51:12
新闻来源: 无锡久安化工有限公司
常见气体的种类
电子行业中常见气体的分类:
普通气体,也称大宗气体(Bulk gas ):氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等
特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2HF HBR SF6……等等
特殊气体的种类一般可分为腐蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半导体气体分类如下:
(一)、腐蚀性 / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
(二)、可燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等
(三)、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3…等
(四)、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等
半导体气体很多是对人体有害。特别是其中有些气体如SiH4的自燃性,只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应,开始燃烧;还有AsH3的剧毒性,任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害,也就是因为这些显而易见的危险,所以对于系统设计性的要求就特别高。
上一页:无锡工业气体流量计检定设备
关键词:
相关文章:
无锡高纯度气体输送气体的纯度、干燥度和洁净度气体产品作为现代工业重要的基础原料,应用范围十分广泛,在...
无锡工业气体的应用气体产品种类繁多,大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类。一般工业气体产销量大,...
无锡高纯度气体气瓶干燥、抽真空及问题处理为了提高高纯气体(如氩、氪、氦、氖、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷等...
常见气体的种类电子行业中常见气体的分类:普通气体,也称大宗气体(Bulk gas ):氢气(H2)、氮气(N2)...
无锡工业气体除了在冶金工业、化学工业普遍应用外,在反应******工业化程度的机械制造业也有着非常广泛的应用...